LiQuilaz UL1604対応パーティクルカウンタは、Class(粒径クラス) I、DIV(粒子区分) IIの環境における液中微粒子汚染を連続的かつリアルタイムでモニタリングすることが可能です。導入時に特別な改築を必要としないので、重点的なモニタリングを必要とする場所へのパーティクルカウンタ導入コストを軽減できます。容積測定サンプリングの可測粒径は最小0.2µmと精度が高く、統計解析のサンプリング時間を短縮できます。監視ソフトウェアFacility Netとの統合も簡単。複数のフローシステムを経済的に監視できます。
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