HSLIS M65 UL1604対応パーティクルカウンタ

HSLIS M65 UL1604対応パーティクルカウンタは、Class(粒径クラス) I、DIV(粒子区分) IIの環境における液中微粒子汚染を連続的かつリアルタイムでモニタリングすることが可能です。導入時に特別な改築を必要としないので、重点的なモニタリングを必要とする場所へのパーティクルカウンタ導入コストを軽減できます。可測粒径は0.065ミクロン。監視ソフトウェアFacility Netとの統合も簡単です。複数のフローシステムを経済的に監視できます。