マイクロ高圧レーザー パーティクル カウンタ101 HP
ライン圧で不活性加圧ガスを測定。このシステムは、外付けのプリンタ、あるいはコンピュータにデータを出力します。
「高圧ガス管の微粒子測定」 (155.2 KB)
利点
- 高圧ガス供給システムのスピード基準適合
- 歩留まりに影響が出る前に微粒子検出
- 測定センサーおよびデータシステムを組み込んだシステム
- スペック実証
- プロセス上の異常を探知
- システム変化による影響を定量化
- 正確な微粒子サイジング
- 総合的データ保存、管理、レポート、アラーム用のFacility Net（工場診断）データ管理に対応
- パッシブキャビティ設計でメンテナンスを削減
- 他のシステムと異なり、モニタリング用液不要のマイクロLPC-101 HP
- ライン圧で不活性加圧ガスを測定
- プロセス制御の向上
- 高い信頼性
用途
- ガス供給システム基準適合
- 処理ガスのモニタリング
マイクロLPC 101HP 仕様書 (172.6 KB)
レーザー微粒子測定器: マイクロ高圧レーザー微粒子測定器、機種LPC 101-HPは、ガスを雰囲気圧まで加圧する従来のシステムに代わり、ライン圧で不活性ガスを測定。
マイクロLPC 101-HP には測定センサーおよびデータシステムが組み込まれています。8つのサイズチャンネルを用意し、吸引量0.1 SCFM、ライン加圧40〜150 psigで、最小0.1µm からの測定が可能です。
マイクロLPC 101-HPは5インチのCRTおよび数字キーパッドを利用。最大サンプル数50のデータをシステム内に保存します。
個人情報について
© 2002-2008 Particle Measuring Systems, Inc.
当ウェブサイト上の情報は予告無く変更される場合があります。
