高圧ガスプローブ(HPGP-101-C)パーティクル カウンタ

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利点

• 高圧ガス供給システムのスピード基準適合
• 歩留まりに影響が出る前に微粒子検出
• 酸素、水素など非毒性高圧ガス対応
• スペック実証
• プロセス上の異常を探知
• システム変化による影響を測定
• 正確な微粒子サイジング
• 総合的データ保存、管理、レポート、アラーム用のFacility Net（工場診断）データ管理に対応
• パッシブキャビティ設計でメンテナンスを削減
• 他のシステムと異なり、モニタリング用液不要のHPGPシステム
• 不活性ガス充填で安全を保証
• 漏れを感知し電源をシャットオフ

用途

• ガス供給システム基準の適合
• 処理ガスのモニタリング
• 反応性ガスのモニタリング

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レーザー微粒子測定器: 生産環境では、処理ガスが常時使用されます。ガス中の微粒子はライン圧で測定することが最も良い方法です。高圧ガスプローブ、HPGP機種は加圧40〜150 psig で作動します。吸引量0.1 SCFM で最小可測粒径0.1ミクロンの感度を誇ります。プローブはシリンダー型圧力容器に納められ、安全な充填容器としての働きを行います。作動中、充填容器は乾燥窒素で加圧します。圧力容器に漏れが発生する、あるいは内部のガスが容器に漏れこんだ場合、電源が切れます。表面にぴたりとはめ込まれた金属インレットは電解研磨によるステンレス製で、多数の非毒性ガスやエアゾールに対応します。

各システムにはHPGPおよびPDS-PAデータ取得システムが組み込まれ、またオプションで別置きプリンターが設置できます。サイズチャンネルは、測定者が見やすいよう最大8チャンネルで5インチのCRTに表示されます。測定値は表形式か棒グラフで記録され、微分または累積計算で算出されます。