Surfex構成見積書

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  1. 検査をご希望の部品について、以下の項目を漏れなくご入力ください:
    1. 寸法
    2. 構造物の材料
    3. 内容説明(トレイ、FOUP、固形部など)
    注意:臨時検査が必要な分品がリストにない場合、その部品をご記入ください。
  2. 部品はすべて、ビーカーの中で検査できますか?
  3. 水温を制御する必要がありますか?
  4. ご希望の流量をご記入ください。シングルパス /

  5. 注意:クラス1000未満のルームでは、オプションのHEPAフィルタが必要です。
  6. 完全に清浄な乾燥空気が供給できますか、または窒素を80−150psiで2 CFMを供給できますか?
  7. DI水を60psiで10 LPM供給できますか?
  8. 上記以外で特別なご要望がありますか。

Particle Measuring Systemsが正確な見積もりをご提供できるよう、次の項目にもご記入ください。

Particle Measuring Systems, Inc.
5475 Airport Blvd., Boulder, CO 80301
303-443-7100 or 1-800-238-1801
Fax: 303.546.7331

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