ミニエンバイロメント微粒子モニター: MiniNet

業界が300 mmウエハへ移行することにより、ミニエンバイロメントは新半導体製造クリーンルームの要となりました。同様の理由で、データ保管および製薬産業、どちらもが、装置にぴったり合うような加圧設計外装に移行しています。

清浄度レベルはかなり向上したのですが、ミニエンバイロンメントは、依然として微粒子監視を必要としています。しかし、この新しい環境には、新しい監視技術と設備を必要とする独特な特性があります。

微小汚染管理において長い間先頭を走ってきた経験を基に、弊社は、ミニエンバイロメントのモニタリング用の全く新しいタイプのプロセス・モニター、MiniNet を開発、特許を申請しました。MiniNet は、歩留まりが微粒子の影響を受けかねない状況を検出、診断するのモニターです。