ミニエンバイロンメント プロセス モニタ： MiniNet
ミニエンバイロメント監視はなぜ重要でしょうか?
半導体業界は、コンピュータチップのコスト削減と性能増強を常に目指しています。 これらの目標を達成するカギは、チップサイズを縮小し300mmウエハにより多く乗せることです。 業界が300mm技術に移行するにつれ、より小さな微粒子がチップ性能に影響を与えることになるでしょう。 さらに清浄度の高い製造プロセスを開発することが肝心です。
ミニエンバイロメント(またはアイソレーター)は、データ保管および製薬業界にとっても主要な設計要素です。各装置にぴたりと合う保護外装を組立てることによって、清浄度を保持する必要のある気体量はかなり減少します。これを他のデザイン要素（ロボット工学、フィルタリング、FOUPsなど）に結合することで、前世代クリーンルームより100倍清潔なミニエンバイロメントを実現することが可能になります。
ミニエンバイロメントはかなり清潔ですが、それでも、連続的なリアルタイムの微粒子監視が依然として不可欠です:
- ミニエンバイロメントを清潔にするのは可能ですが、それを維持するのは不可能です。時間がたつにつれ、密封剤は分解し、ロボット・アームは摩耗し始めます。FOUPスロットは調節不良になり、ウエハ破損を引き起こします。そうした事が発生し始めた場合、警報を送ることができるのはリアルタイムの微粒子監視器だけです。
- ミニエンバイロメントは通常清潔なものですが、微粒子問題が製品のかなり近くで発生し、製品ダメージの恐れを増加させます。
- 微粒子問題の検出は、伝統的なクリーンルームより難しい場合があります。ミニエンバイロメントにおける問題は、局所的なことが多く、しかも短時間で消えてしまいます。テストウエハによる偶のスポットチェック、または単一ポイントのモニターでも微粒子は検出されないまま、製品に影響を与えるかもしれません。
- ますます多くのチップが単一ウエハにぎゅぎゅうに乗せられ、複数のウエハが単一のFOUPに格納される場合、微粒子問題を検出しそこなうと、これまで以上高くつくことになるでしょう。
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