ミニエンバイロンメント プロセス モニタ: MiniNet
微粒子源は、気流、重力、および静電気引力の力に従って動く微粒子プルームを発現します。 ミニエンバイロメントでは、微粒子発現が局所的に特定されることが多く、外装中央での検出は困難なようです。
一箇所ではなく5〜7箇所で測定するアンサンブル測定は適用範囲を広げるので、微粒子発現検出の可能性を引き上げます。これによって、歩留まりを向上することができます。
実地研究: 300 mmファブ
データは300 mmファブのウエハ・ソーティング・ツールから収集されましたた。MiniNetはミニエンバイロメント内7箇所、主にドア下6インチ、またはロボット・アーム/トラックで測定。比較のため、Lasair® 110 (吸引量1 CFM で感度0.1ミクロン)で、外装中央下6インチでも測定しました。
右のグラフの通り、 MiniNet (赤) は一点の微粒子測定器（青）が見落とした多数の微粒子発現を検知しています。また、微粒子を1剰数桁多く計測し、その上、長時間にわたって検出し続けました。
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