ミニエンバイロンメントプロセスモニタ: MiniNet

微粒子測定器を使用する利点

弊社はMiniNet微粒子測定器によって、ミニエンバイロメント内の微粒子発現とその原因検出に的を絞った設計のプロセス・モニターを初めて開発しました。

MiniNetはアンサンブル（すなわち同時、多点の）使用により、有害な微粒子発現の検出比率をほぼ７倍に引き上げました。発現を観測すると、内蔵のデフ圧力読み取り記録により、微粒子源の特定がさらに迅速に行われます。

MiniNetは省スペースで、同じような独立型微粒子監視器より設置が簡単。ポンプ付き、またはポンプ無しでも使え、ミニエンバイロメントの内外問わず設置できます。 4～20mAセンサー（AFV、TRH、CAP、ESAなど）2台を加えることも可能。単一のイーサネット出力で全てのセンサーからのデータがFacility Netへ送信されるため、データ収集、分析が簡単です。

ミニエンバイロンメントプロセスモニタ: MiniNet

MiniNet仕様書 (335.4 KB)

利点

欠陥削減

アンサンブル測定により、単一地点だけでなく、ミニエンバイロメント全体で微粒子を検出
欠陥を引き起こす微粒子のリアルタイム監視
ミニエンバイロメント保護における故障を検出
アラームで、微粒子などの発生に瞬時に反応

生産性向上

Facility Netソフトウェアとの連結で、ミニエンバイロンメントを総合的に管理
Facility Net により配置とサポートが容易
デフ圧値(DAP)計測で、微粒子源の検出をスピード化
ITタスクの簡素化、サポート要請を削減
簡単な装置統合
予測できる故障箇所の監視により、ミニエンバイロメント全体の信頼性を向上

高い費用効率

コンパクトなパッケージに一体化した完全型微粒子モニタリング・ソリューション
非統合システムに比べはるかに省スペース
複数センサーをパッケージ化、1データ出力に統合
施設データ管理システムで制御
インストール時間と費用を削減
簡単なクリーニング;微粒子付着を最小限にする設計
ダイオードレーザーでメインテナンスを削減
アンサンブル測定で、広範囲の防護を実現、一装置当たりに必要な微粒子センサーを削減
ミニエンバイロメントの内外に関わらず設置可能

詳細は以下をご覧下さい:

このパーティクルカウンタはCE認定を受けています。

MiniNet®はParticle Measuring Systemsの登録商標です。

米国特許取得および出願中－米国6615679; 英国2382139; 外国特許出願中

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