連続の微粒子モニタリングが不要な場合、トレンド分析およびクリーンルームのバリデーションに最適です。
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エアロゾル・マニホールドを使用して、クリーンルーム施設内の複数箇所からの気体測定が効果的に行えます。この機器を使う二通りの方法があります。一つは、試料気体を複数の測定位置から一台の微粒子測定器に多重送信する方法。この手法は、定間隔で多点を監視する最も経済的方法です。
もう一つは、エアゾールマニホールドと微粒子測定器を使用して、個々の測定点から混ざった気体を連続的に監視する微粒子センサーを使うもの。混合気体から、センサーが前もって決められた警報レベルを上回る偽計数上昇を検出する場合、微粒子測定器は各マニホールド・ポートを調べ、問題を確認するでしょう。
各マニホールドを、一ケ所からの単一測定用にプログラムするか、または測定者が定義した配列で実行することができます。エアロゾル・マニホールドは、各測定位置で一貫して吸引量3CFMを維持するように設計されています。
はParticle Measuring Systemsの登録商標です。
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