施設監視ソフトウェア：Facilty Net

Facility Net詳細製品説明

利点

• 制御の向上
• プロセス上の異常に対するデータスピード反応をリアルタイムで表示
• 短期および長期のトレンドを確認
• リアルタイムのアラーム機器制御、SMS/ページング/メール機能でアラーム状態を迅速に通知
• 使いやすさ
• 機能毎に役立つ、幅広いオンラインヘルプ
• 機器構成、アラーム状況定義、レポートのプリントアウトスケジュールなどの画面設定により、設定やメンテナンス所要時間を削減
• 使いやすいアイコンで重要な機能に素早くアクセスし、応答時間を改善

用途

• 施設環境のモニタリング
• フィルタ検査
• クリーンルーム遵守モニタリング
• UPWおよび化学薬品供給システムのモニタリング

特長説明

センサ ステータス画面
Facility Netプログラムでは複数のセンサ ステータス画面を利用して、測定ポイント毎、グループ毎、またはその両方の現在の粒子数をリアルタイムで表示できます。アラーム レベルのイベントが発生した場合、その測定ポイントまたはグループで新しい状態に反映し、ステータスの色が変わります。レーザー出力、流量、通信などセンサに問題が発生した場合でも、ステータス画面の色が変化します。

施設マップ
システム内の監視機器構成を図解したカスタマイズ マップを作成します。選択した測定ポイントの状態、現在値を画面に表示、リアルタイムで更新します。Facility Netがデータ収集を行っている間、他の監視機器を追加、または変更できます。複数のマップを作成しまとめ上げ、施設内の指定した位置をズームして表示します。

経時プロット：リアルタイムとSPC
プロット毎に最大10色の塗り分けペンを使って、リアルタイム データまたは検索データをプロットします。粒子および環境測定ポイント、アラームおよび警戒制限、機器のステータス度を選び、リニアまたはログ スケールのどちらかで、経時プロットに選択したペンとして現れます。画面には複数の経時プロットを同時に表示でき、過去のデータ分析として保存できます。

履歴Tabular
tabular表示画面には、測定ポイント毎の詳細な統計的情報がリアルタイムで表示されます。一つの画面で、機器名、現在の状態、現在値、試料数、さらに選択した測定ポイントの最低、最大、平均および標準偏差を見ることができます。履歴tabular表示画面により、同じフォーマットで検索した測定ポイントを見直すことが可能です。

イベント ログと自動化タスク
監査証跡では、アラームやワーニング状態、通信エラー、機器の状態、構成イベント、オペレータの行動などの処理を登録します。各イベントを見直して、ユーザー入力フィールドでその原因を記載できます。

ジョブ作成機能により、自動化タスクを予約できます。Facility Netでは、プリント形式および電子形式のレポート作成、データベースのバックアップ作成、レシピや外部プログラムの実行など、ユーザーの手を煩わせず行います。

アラームとページング
Facility Netにより、プリセット限界（パラメータ）を超えた場合、音または目で知らせるアラームをセットできます。アラーム レベルには4つあり、パラメータ外の状態に近づくと、緊急アラームが強まっていきます。アラーム ステータスの情報は、ステータス表示、Tabular表示、イベントログに中継されます。アラームの優先度を設定し、重要なアラームを他のそれほどではないアラームより優先にできます。アラームがオンになると、オプションのページャー機能が有効になります。

ネットワーキングとデータ配布
Facility Netネットワークのオプションは、強力なリアルタイムのネットワーキング性能をご提供します。このシステムを機器に接続すると、イーサネット接続を通して、機器に接続していないFacility Netシステムにデータをリアルタイムで転送します。ネットワーク ステーションはターミナル サーバをサポートするため、複数のユーザーは同時にアプリケーションを接続、実行できます。

リアルタイムのネットワーキングによって、都合に応じていつでも、データを閲覧、分析できます。中央ファイル サーバを使用すると、オフィス ネットワーク ステーションを構成し、リアルタイム ステーションから報告されたデータを表示できます。