AirSentry-IMS総合システム
現在、半導体ディバイス、半導体製造装置、ハードディスク・ドライブ、フラット・パネル・ディスプレイ（TFT-液晶）製造業界に於いて、装置内、プロセスライン環境、プロセス環境中の気中分子汚染のリアルタイム・モニタリングが非常に注目され、重要視されています。AirSentry-IMS総合システムは、迅速な分子状汚染の検出（10秒〜1分）とアラーム機能、sub-ppbレベルの気中分子モニタリングの推移データ管理、広範囲な測定（サンプルチューブを60mまで延長可能）、多種の分子状汚染の一括検出により、半導体産業をはじめ超低濃度ガスモニタリングを必要とされる様々な業界の要求に対応できる分子状汚染の総合監視システムです。
利点
- ppt濃度のリアルタイムなモニタリングで指定化合物を検出
- 多点測定システムで広範囲な測定
- 長寿命で高いコスト・パフォーマンスを約束
- 遠隔からの操作・校正が可能、またメンテナンスが容易
- 多量測定データ管理可能、ヒストリカル・トレンド機能により汚染推移を常時監視可能
用途
- 半導体
- DUVリソグラフィ
- フォトマスク
- ハードディスク ドライブ
- フラット・パネル・ディスプレイ(TFT-液晶)
AirSentry-IMSシステム パンフレット (323.7 KB)
この機器はCE認定を受けています。
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