IonPro-IMSモバイル
IonPro-IMSモバイル分析装置は、既に長期にわたり現場で実証済のIMSイオン・モビリティー分光技術を使用した分析装置で、2種類の分子状汚染をsub-ppbの感度でリアルタイムで検出します。また、4チャンネル測定システム、2つのIMSセル、データ処理機能ソフト、内部校正機能が装備可能なため、異なる測定現場で特定された分子状汚染を簡単、かつ正確にモニタリングできます。クリーンルーム環境における気中分子汚染推移、リアルタイム推移、又は、高感度のモニタリングを初心者でも簡単に操作できる分析装置が、現場の問題となる分子状汚染を監視します。
利点
- sub-ppt濃度のリアルタイムなモニタリングで分子状汚染を検出
- 濃度変化への迅速な反応と、リモートコントロール機能による遠隔操作を実現
- 工場出荷時に事前に校正されているため、迅速な設置が可能
- ドリフトの除去および温度、湿度の変更に影響を受けないため、校正レベルの安定性を長期的に持続
- 多点システム（MPS）の4チャンネル内蔵
用途
- 半導体クリーンルーム
- リソグラフィ
- ハードディスク ドライブ
- 液晶フラット・パネル・ディスプレイ(TFT-液晶)
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