クリーンルーム分子汚染モニタリング資料

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リソグラフィで分子汚染を監視するという新しいアプローチをご紹介いたします。最新の技術革新により、試料管による影響を最小限に抑え、感度と安定性の向上を実現。継続的なリアルタイムモニタリングが可能となりました。

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リアルタイムモニタリングと試料採取モニタリングの両方に様々なテクノロジーが採用されています。両方の技術を兼ね備えることにより、高度な管理、最小レベルの検出限界、分類化(スペシエーション)に関する最も詳細なデータの取得が可能となります。この研究では、液体インピンジャーと乾燥吸収管の両方でNISTトレーサブルなガス基準と実際の試料の測定作業を平行して行う異なる2つのリアルタイムモニタを詳しく比較しています。

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イオン・モビリティー分光技術(IMS)は、汚染分子の検出と特定を行う多くのアプリケーションで幅広く利用されています。本記事では、IMSテクノロジーの原理や、IMSモニタを利用している様々な分野を検証し、モニタリング用アプリケーションと例について語ります。

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Presentation: Part-Per-Trillion Monitoring of Airborne Molecular Contamination (AMC)

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AMCモニタリングでは、シンプルなデザインが効果的

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過去数年間に亘り、様々なセンサーや検出技術は、効果的なAMC（気中分子汚染）モニタリングに求められる条件に応じて複雑化してきました。複雑なデザインは、試料が検出前に変化してしまったり、ハードウェアが増えることにより、定期的な保守点検を必要とする箇所が増えたりと、測定に不確実性を付加するだけです。AMCモニタリング機器に関しては、『オッカムの剃刀』の原理が正しいように思えます‐『どれでも同じなら、最もシンプルな方法が最良の方法である』。

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「AMCモニタリング」

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『Semiconductor Fabtech』27版に掲載著；Robin Danfelt（Nikon Precision）

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