Spettrometria di mobilità ionica per punto d'uso AirSentry® II

La linea di spettrometri di mobilità ionica AirSentry II rileva e avverte gli utenti della presenza di piccole concentrazioni o variazioni nei livelli aerodispersi di cloruri, acidi, ammine e specie contenenti ammoniaca. Con una sensibilità a livello di parti per trilione (ppt), questi sensori per punti d'uso forniscono una risposta rapida, una migliore selettività di rilevamento e prestazioni ripetibili. L'abbinamento di sensori Air Sentry II a una piattaforma software centralizzata consente una facile acquisizione e analisi dei dati. La linea di sensori AirSentry II fornisce dati continui attuabili, per una risposta efficiente alle sorgenti e agli eventi di contaminazione..

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Caratteristiche

  • Rilevamento ad alta sensibilità di acidi e alcali (ammine, ammoniaca e cloruri)
  • Configurazione versatile dei prodotti per applicazioni per punto d'uso, multipunto e monitoraggio mobile
  • Dimensioni compatte che semplificano la ricollocazione
  • Uscite Ethernet, RS-232, 4-20 mA

Vantaggi

  • Monitoraggio AMC continuo di posizioni critiche
  • Acquisizione, gestione e analisi dei dati solide e affidabili
  • Stabilità dei dati a lungo termine
  • Costo per test ridotto

Applicazioni

  • Monitoraggio in tempo reale della corrosione nelle posizioni di processo sottoposte ad attacco chimico
  • Monitoraggio in tempo reale di ammine e ammoniaca all'interno di sistemi di litografia critici
  • Quantificazione dell'efficienza dei filtri chimici
  • Monitoraggio e risoluzione dei problemi di sorgenti di contaminazione in tutta la camera bianca e gli strumenti di processo
  • Analisi della contaminazione nei moduli di conservazione dei wafer del FOUP

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Domande frequenti

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