Spettrometria di mobilità ionica per punto d'uso AirSentry® II

La linea di spettrometri di mobilità ionica AirSentry II rileva e avverte gli utenti della presenza di piccole concentrazioni o variazioni nei livelli aerodispersi di cloruri, acidi, ammine e specie contenenti ammoniaca. Con una sensibilità a livello di parti per trilione (ppt), questi sensori per punti d'uso forniscono una risposta rapida, una migliore selettività di rilevamento e prestazioni ripetibili. L'abbinamento di sensori Air Sentry II a una piattaforma software centralizzata consente una facile acquisizione e analisi dei dati. La linea di sensori AirSentry II fornisce dati continui attuabili, per una risposta efficiente alle sorgenti e agli eventi di contaminazione..

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Caratteristiche

  • Rilevamento ad alta sensibilità di acidi e alcali (ammine, ammoniaca e cloruri)
  • Configurazione versatile dei prodotti per applicazioni per punto d'uso, multipunto e monitoraggio mobile
  • Dimensioni compatte che semplificano la ricollocazione
  • Uscite Ethernet, RS-232, 4-20 mA

Vantaggi

  • Monitoraggio AMC continuo di posizioni critiche
  • Acquisizione, gestione e analisi dei dati solide e affidabili
  • Stabilità dei dati a lungo termine
  • Costo per test ridotto

Applicazioni

  • Monitoraggio in tempo reale della corrosione nelle posizioni di processo sottoposte ad attacco chimico
  • Monitoraggio in tempo reale di ammine e ammoniaca all'interno di sistemi di litografia critici
  • Quantificazione dell'efficienza dei filtri chimici
  • Monitoraggio e risoluzione dei problemi di sorgenti di contaminazione in tutta la camera bianca e gli strumenti di processo
  • Analisi della contaminazione nei moduli di conservazione dei wafer del FOUP

Accessori disponibili

Pompa da vuoto AMC

Pompa da vuoto AMC

Pompa elettrica indipendente in grado di fornire una sorgente di vuoto adeguata per il sensore POU AirSentry II. Viene utilizzato in genere quando non è disponibile un sistema di vuoto dell'edificio.

Software Facility Net

Software Facility Net

Il software Facility Net è una soluzione di monitoraggio ambientale completa, comprendente la visualizzazione di dati in tempo reale e storici. Contatori di particelle Particle Measuring Systems compatibili e monitor della contaminazione molecolare, oltre a vari prodotti di terzi.

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