Range di sensibilità: 20 - 100 nm

Chem 20 Contatore Particellare per sostanze chimiche

I processi produttivi avanzati della microelettronica  richiedono  sostanze chimiche  filtrate con un taglio particellare  finale non superiore ai 20 nm. Il Chem 20 della PMS è il più sensibile contatore particellare disponibile  sul mercato che soddisfa questi requisiti e quindi adatto al controllo particellare delle sostanze chimiche impiegate  in questi processi produttivi

II dati raccolti nel monitoraggio dei processi produttivi e del packaging dimostrano che il Chem 20 della PMS (sensibilità 20 nm) rileva una maggiore concentrazione di particelle con trend statistici più significativi rispetto agli strumenti della concorrenza. Il Chem 20 può monitorare con facilità, velocità ed efficienza la componente particellare chimica del processo prima che vada ad impattare sulla produzione 

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Caratteristiche

  • Ottica avanzata  e detector capace di rilevare particelle nelle sostanze chimiche di 20 nm
  • Flussimetro integrato per settare il flusso del campione analitico 
  • Primo contatore particellare ottimizzato per sostanze chimiche ad alto e basso indice di rifrazione:
    • Sensore Chem 20 per sostanze chimiche a basso indice di rifrazione 
    • Sensore Chem 20  per sostanze ad alto indice di rifrazione tarato  con acido solforico ed altre sostanze simili
  • Sensore integrato per rilevare sversamenti interni 
  • Sensore di rilevamento del flusso per assicurare dati  statisticamente validi e ripetibili 
  • Sensore per il rilevamento di  bolle nel campione per garantire misurazioni stabili 
  • Display per visualizzare I dati rilevati

Vantaggi

  • Rileva in tempo reale particelle di 20 nm (PSL) & particelle di 9 nm (AU) 
  • Può rilevare in produzione particelle di 20 nanometri che possono limitare le rese (non possibile con altre tecnologie)
  • Rileva variazioni particellari durante processi produttivi più velocemente rispetto ai test sulle superfici (successivi alla produzione) e all’analisi delle rese
  • Ottimizza la logistica delle sostanze chimiche dal serbatoio di carico alla produzione
  • Permette un miglior controllo di processo con l’analisi statistica dei dati raccolti
  • Le due diverse modalità di gestione dei dati raccolti per lavorare su applicazioni sia pulite che sporche ne aumenta le possibilità d’uso 
  • Possibile acquisizione dati per uso legale (comunicazioni flessibili)

Applicazioni

  • Monitoraggio particellare in real time all’interno di un sistema di distribuzione chimico
  • Monitoraggio puntuale del processo
  • Monitoraggio delle operazioni di confezionamento
  • Monitoraggio dell’efficienza chimica dei filtri
  • Monitoraggio delle performance dei componenti chimici usati nel processo 

Accessori disponibili

Software Facility Net

Software Facility Net

Il software Facility Net è una soluzione di monitoraggio ambientale completa, comprendente la visualizzazione di dati in tempo reale e storici. Contatori di particelle Particle Measuring Systems compatibili e monitor della contaminazione molecolare, oltre a vari prodotti di terzi.

Kit di installazione per liquidi

Kit di installazione per liquidi

Per l'uso con le applicazioni online, il kit di installazione per liquidi comprende: un flangiatubo Flaretek®, cinque coperchi, 7,6 metri (25 ft) di tubi in perfluoroalcossi(alcani) (PFA) da 1/4 di pollice e connettori maschio.

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