Sistema di sonda per gas ad alta pressione HPGP-101-C

I processi di produzione ad alta tecnologia richiedono spesso l'impiego di gas di purezza elevata. Il sistema di sonda per gas ad alta pressione HPGP-101-C fornisce un monitoraggio affidabile della contaminazione in linea per i gas di processo alla pressione di linea. Il sistema di sonda per gas ad alta pressione è compatibile con ossigeno, idrogeno e gran parte dei gas non tossici e può essere utilizzato in numerose applicazioni di monitoraggio di gas reattivi. Il sistema di sonda per gas ad alta pressione accelera la qualifica dei sistemi di distribuzione dei gas di processo nei gas prima che questi influiscano sulla resa. HPGP è abbinato a un sistema di dati delle particelle Ethernet (PDS-E) in grado di raccogliere e rappresentare in rapporti i dati acquisiti dalla sonda.

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Caratteristiche

  • Recipiente di contenimento di sicurezza
  • Compatibilità a ossigeno e idrogeno
  • Sensibilità di 0,1 μm a 0,1 SCFM
  • Otto canali di particelle
  • Pressioni di linea da 40 a 150 psig
  • Laser a cavità passiva
  • Sistema di rilevamento di array di elaborazione paralleli

Vantaggi

  • Verifica della qualità del gas
  • Rilevamento delle irregolarità di processo
  • Quantificazione degli effetti delle variazioni di sistema
  • Capacità di dimensionamento preciso delle particelle
  • Utilizzo del software Facility Net per funzioni complete di memorizzazione dei dati, gestione, rapporti e allarmi
  • Design a cavità passiva per una manutenzione poco frequente
  • Lo scarico di gas inerti garantisce la sicurezza
  • La perdita di gas di campionamento nel recipiente disinserisce l'alimentazione ai circuiti elettronici

Applicazioni

  • Qualifica di sistemi di distribuzione di gas
  • Monitoraggio di gas di processo
  • Monitoraggio di gas reattivi

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