Sistema di sonda per gas ad alta pressione HPGP-101-C

I processi di produzione ad alta tecnologia richiedono spesso l'impiego di gas di purezza elevata. Il sistema di sonda per gas ad alta pressione HPGP-101-C fornisce un monitoraggio affidabile della contaminazione in linea per i gas di processo alla pressione di linea. Il sistema di sonda per gas ad alta pressione è compatibile con ossigeno, idrogeno e gran parte dei gas non tossici e può essere utilizzato in numerose applicazioni di monitoraggio di gas reattivi. Il sistema di sonda per gas ad alta pressione accelera la qualifica dei sistemi di distribuzione dei gas di processo nei gas prima che questi influiscano sulla resa. HPGP è abbinato a un sistema di dati delle particelle Ethernet (PDS-E) in grado di raccogliere e rappresentare in rapporti i dati acquisiti dalla sonda.

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Caratteristiche

  • Recipiente di contenimento di sicurezza
  • Compatibilità a ossigeno e idrogeno
  • Sensibilità di 0,1 μm a 0,1 SCFM
  • Otto canali di particelle
  • Pressioni di linea da 40 a 150 psig
  • Laser a cavità passiva
  • Sistema di rilevamento di array di elaborazione paralleli

Vantaggi

  • Verifica della qualità del gas
  • Rilevamento delle irregolarità di processo
  • Quantificazione degli effetti delle variazioni di sistema
  • Capacità di dimensionamento preciso delle particelle
  • Utilizzo del software Facility Net per funzioni complete di memorizzazione dei dati, gestione, rapporti e allarmi
  • Design a cavità passiva per una manutenzione poco frequente
  • Lo scarico di gas inerti garantisce la sicurezza
  • La perdita di gas di campionamento nel recipiente disinserisce l'alimentazione ai circuiti elettronici

Applicazioni

  • Qualifica di sistemi di distribuzione di gas
  • Monitoraggio di gas di processo
  • Monitoraggio di gas reattivi

Accessori disponibili

Montaggio su rack (PDS-E)

Montaggio su rack (PDS-E)

Montaggio su rack per PDS-E adatto a un rack standard da 19". Notare come il rack di montaggio debba consentire il flusso d'aria dalla ventola presente nel lato posteriore dello strumento.

Software Facility Net

Software Facility Net

Il software Facility Net è una soluzione di monitoraggio ambientale completa, comprendente la visualizzazione di dati in tempo reale e storici. Contatori di particelle Particle Measuring Systems compatibili e monitor della contaminazione molecolare, oltre a vari prodotti di terzi.

Sistema di dati delle particelle (PDS-E)

Sistema di dati delle particelle (PDS-E)

Sistema di dati basato su microprocessore. Il sistema PDS-E consente di collegare una sonda e comprende una scatola di montaggio a parete, cavo di configurazione RS-232 e software FacilityNet. Sensore non in dotazione.

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