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Optical Haze Blurs the Bottom Line


Detect Contamination Before It Damages Your Lens

Transmission loss, image distortion, decreased throughput, and costly maintenance all result from the preventable condition of optical hazing. In order to prevent this from occurring, the first step is to detect and monitor the contaminants that cause these effects. Real-time analyzers monitor for acids, bases, and condensable organics in a single system at detection levels below 193 nm lithography requirements.

See below for papers and products to help you avoid optical hazing.

Papers

 

Monitoraggio AMC con IMS

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Scoprite la tecnologia basata sulla spettrometria di mobilità dello ione (IMS) per il monitoraggio della contaminazione molecolare aerodispersa (AMC).


 

Teorie e applicazioni della spettrometria di mobilità dello ione (IMS)

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La spettrometria di mobilità dello ione (IMS) ha raccolto un ampio consenso in numerose applicazioni per l'individuazione e l'identificazione di molecole inquinanti. Tale documento contiene un'analisi del funzionamento della tecnologia nonché una riflessione sulle varie industrie che utilizzano i monitor IMS e sul monitoraggio di esempi e applicazioni.

Download above file for full tables and figures, or for overview, see HTML Version.


 

Trasmissione in diretta online: Come usufruire dei vantaggi della litografia ad immersione

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Services

Contaminazione molecolare

Noleggio/locazione di contatori di particelle

Mettiamo a vostra disposizione gli strumenti giusti offrendovi un'assistenza tecnica adeguata e un programma di noleggio per soddisfare le vostre esigenze.

Non c'è controllo senza misura

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