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WET PROCESS CONTROL


Monitoring particles in your wet bench saves you money. Extend maintenance intervals, improve yield, and lower costs using compression sampling that eliminates erratic data problems due to bubbles and provides real-time information on the condition of your web process.

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Papers

 

Qual è il contatore di particelle più adatto alle vostre esigenze? Misurazione dell'acqua purificata e dei fluidi

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Vi invitiamo ad effettuare un confronto tra i vari contatori di particelle che vi consentirà di trovare la soluzione ideale per la misurazione dell'acqua purificata.

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Linee guida basilari per i contatori e il conteggio di particelle

Click here to signup and download files (Guida di base a contatori di particelle e di conteggio delle particelle)

Si tratta di una panoramica relativa al conteggio delle particelle che ha inizio con una discussione in merito alle fonti di particelle e alle tecnologie per il monitoraggio delle particelle attualmente disponibili e procede con un'analisi dei vari contatori di particelle... (Ultimo aggiornamento: Nov. 2007)

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Monitoraggio continuo di particelle del processo BOE (Buffered Oxide Etch) attraverso l'utilizzo di CLS-700T

Il contatore di particelle CLS-700T è in grado di garantire in più modo rapido e affidabile rispetto ai metodi utilizzati in passato basati sull'utilizzo di wafer di monitoraggio l'idoneità del contenitore per il processo BOE. Inoltre è possibile identificare facilmente problemi legati alla manutenzione e di correggerli prima che i wafer di produzione vengano compromessi. Ciò consente di preservare i wafer e ridurre la necessità di una costosa rilavorazione.

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Nuove tecniche di monitoraggio dello spostamento di particelle in situ più vicine al wafer

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Questo documento è stato redatto al fine di descrivere a grandi linee i requisiti di comunicazione applicati alla combinazione del contatore di particelle CLS-700T con il contatore di particelle LiQuilaz. Entrambi i contatori di particelle devono essere collegati separatamente attraverso indirizzi di rete differenti. Il contatore di particelle CLS-700T utilizza linee di hardware allo scopo di verificare il corretto campionamento del contatore di particelle LiQuilaz. Vengono forniti dettagli relativi esclusivamente alle coppie di sequenze comando/risposta del contatore di particelle.


Products

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DataAnalyst Software

Contaparticelle per liquidi: HSLIS M65 UL1604

Questo Contaparticelle garantisce misurazioni per solventi, sostanze chimiche e acqua purificata

Volume campionamenti

  • 0,6 mL/min

Conteggio a zero

  • < 2000 cts/L
  Particle Monitoring Software

Software monitoraggio particelle SamplerSight

Fornisce una visione completa delle informazioni relative ai contatori di particelle liquide su base sequenziale attraverso istogrammi, tracciati temporali e dati tabulari.

  Chemical Particle Counter: CLS 700

Contatore di particelle chimiche CLS-700 T

Questo contatore di particelle è in grado di monitorare la maggior parte delle sostanze chimiche liquide con una temperatura che raggiunge i 150°C. Monitoraggio continuo o mobile.

Volume campionamenti

  • 50 mL/min
  • 80 mL/min
  • 80 mL/min

Conteggio a zero

  • <1 cts/mL
  • <1 cts/mL
  • <1 cts/mL
  DI water particle counter: Ultra DI 50

Contatore particelle laser: Ultra DI®

Questi Contaparticelle registrano un ampio volume di campionamento, un basso conteggio a zero e un’alta efficienza di conteggio.

Sensibilità

  • 0,05 µm

Volume campionamenti

  • 3,75 mL/min

Conteggio a zero

  • <50 cts/L
  LiQuilaz Particle Counter

Contaparticelle per liquidi: LiQuilaz®

Contaparticelle in grado di effettuare analisi di precisione per la maggior parte delle sostanze chimiche di processo fino a 150°C.

Sensibilità


  • 0,2 µm
  • 0,3 µm
  • 0,5 µm
  • 1,5 µm
  • 2,0 µm

Volume campionamenti

  • 50 mL/min
  • 80 mL/min
  • 80 mL/min
  • 20 mL/min
  • 70 mL/min

Conteggio a zero

  • <25 cts/L
  • <15 cts/L
  • <15 cts/L
  • <50 cts/L
  • <50 cts/L
  Liquistat Liquid Optical Particle Counter for DI water and chemical applications

Contaparticelle liquide: Liquistat®

Si tratta di un Contaparticelle volumetrico che utilizza una tecnologia "Inviscid Jet" brevettata per acqua purificata e conteggi di particelle di sostanze chimiche.

Sensibilità

  • 0,1 µm

Volume
campionamenti

  • 50 mL/min

Conteggio a zero

  • <20 cts/L
  Chemical Particle Counter: CLS 1000

Contatore di particelle chimiche CLS 1000

Contatore di particelle a compressione di bolle in grado di monitorare sostanze chimiche liquide fino a 90°. Monitoraggio continuo o mobile.

Volume campionamenti

  • 25 mL

Conteggio a zero

  • < 100 cts/L
  Facility Net

Software per il monitoraggio dell'impianto: Facilty Net

Il software fornisce una visione completa delle condizioni di monitoraggio ambientali e di processo di una camera bianca. Raccolta, visualizzazione, analisi, immagazzinamento e segnalazione di dati provenienti dai contatori di particelle.

Non c'è controllo senza misura

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