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Ottimizzazione del monitoraggio della contaminazione molecolare per la litografia

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Recenti progressi tecnici hanno reso possibile un monitoraggio continuo in tempo reale che ha condotto a sviluppi significativi in termini di sensibilità e stabilità garantendo, allo stesso tempo, una riduzione degli effetti dei tubi di campionamento. Tali progressi vengono realizzati utilizzando...

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Monitoraggio AMC con IMS

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Scoprite la tecnologia basata sulla spettrometria di mobilità dello ione (IMS) per il monitoraggio della contaminazione molecolare aerodispersa (AMC).

Nuove strategie di monitoraggio delle particelle per acqua purificata in impianti di fabbricazione di semiconduttori da 300 mm (fab).

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Tale contributo analizza i vantaggi generati dal monitoraggio delle particelle in acqua purificata, che consistono nel miglioramento delle prestazioni, nella possibilità di tener traccia dell'andamento dei dati e nella riduzione dei costi attraverso una combinazione di contatori di particelle ad alta sensibilità e contatori di particelle più economici e meno sensibili (0,1 micron) con volumi di campionamenti molto elevati. Vengono inoltre analizzati l'impatto della sensibilità della calibratura, il volume di campionamenti e il conteggio a zero sulla prestazione del contatore di particelle in acqua purificata. L'articolo contiene altresì alcune considerazioni pratiche sul monitoraggio e le differenze di distribuzione delle particelle tra sistemi di acqua purificata con bassi livelli di filtraggio e sistemi di acqua purificata con alti livelli di filtraggio.

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Monitoraggio delle particelle in acqua ultrapura per applicazioni microelettroniche

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Consultate la presentazione per scoprire il motivo per cui il monitoraggio delle particelle rappresenta un'operazione critica, le modalità in cui dovrebbe essere scelto un contatore di particelle e le tecniche di interpretazione dei dati forniti da un contatore di particelle.