Nuove strategie di monitoraggio delle particelle per acqua purificata in impianti di fabbricazione di semiconduttori da 300 mm (fab).

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Tale contributo analizza i vantaggi generati dal monitoraggio delle particelle in acqua purificata, che consistono nel miglioramento delle prestazioni, nella possibilità di tener traccia dell'andamento dei dati e nella riduzione dei costi attraverso una combinazione di contatori di particelle ad alta sensibilità e contatori di particelle più economici e meno sensibili (0,1 micron) con volumi di campionamenti molto elevati. Vengono inoltre analizzati l'impatto della sensibilità della calibratura, il volume di campionamenti e il conteggio a zero sulla prestazione del contatore di particelle in acqua purificata. L'articolo contiene altresì alcune considerazioni pratiche sul monitoraggio e le differenze di distribuzione delle particelle tra sistemi di acqua purificata con bassi livelli di filtraggio e sistemi di acqua purificata con alti livelli di filtraggio.

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