Nuove tecniche di monitoraggio dello spostamento di particelle in situ più vicine al wafer

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Questo documento è stato redatto al fine di descrivere a grandi linee i requisiti di comunicazione applicati alla combinazione del contatore di particelle CLS-700T con il contatore di particelle LiQuilaz. Entrambi i contatori di particelle devono essere collegati separatamente attraverso indirizzi di rete differenti. Il contatore di particelle CLS-700T utilizza linee di hardware allo scopo di verificare il corretto campionamento del contatore di particelle LiQuilaz. Vengono forniti dettagli relativi esclusivamente alle coppie di sequenze comando/risposta del contatore di particelle.