Monitoraggio di particelle all'interno di sostanze chimiche di processo

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La International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) ha sancito la necessità di una diminuzione costante dei livelli di particelle all'interno di gas, acqua, sostanze chimiche e aria di processo al fine di soddisfare le esigenze tecnologiche delle generazioni future. Scoprite come scegliere il contatore di particelle adatto a soddisfare tali requisiti.

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