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Documentazione relativa al monitoraggio della contaminazione molecolare nelle camere bianche
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Riduzione dei costi di capitale e di manodopera attraverso l'utilizzo del monitoraggio AMCRiduzione dei costi di capitale e di manodopera relativi al monitoraggio della litografia da 193NM della contaminazione molecolare aerodispersa (AMC) attraverso la valutazione proattiva e l'implementazione di tecniche e strategie di monitoraggio AMC. Per saperne di più... Download above file for full tables and figures, or for overview, see HTML Version. |
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Presentazione: Monitor AMC al punto di utilizzo per un controllo continuo e in tempo reale: Analizzatore AirSentry II |
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Presentazione: Monitor AMC al punto di utilizzo per un controllo continuo e in tempo reale: Analizzatore AirSentry IIÈ possibile scaricare qui la presentazione: Monitor AMC al punto di utilizzo per un controllo continuo e in tempo reale: AirSentry II |
Monitoraggio AMC con IMSClick here to signup and download files (AMC Monitoring with IMS) Scoprite la tecnologia basata sulla spettrometria di mobilità dello ione (IMS) per il monitoraggio della contaminazione molecolare aerodispersa (AMC). |
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Monitoraggio in AMC, un design più semplice più a lungoClick here to signup and download files (In AMC Monitoring, Simple Designs Go A Long Way ) Download above file for full tables and figures, or for overview, see HTML Version. |
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Monitoraggio AMC ottimizzato per la litografiaClick here to signup and download files (Optimized AMC Monitoring for Lithography) Pubblicato nella rivista Solid State Technology, nel dicembre del 2007. Download above file for full tables and figures, or for overview, see HTML Version. |
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Trasmissione in diretta online: Focus sulla Roadmap ITRS |
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Monitoraggio della contaminazione molecolare aerodispersaClick here to signup and download files (Monitoring Airborne Molecular Contamination) Sono state impiegate numerose tecnologie per il monitoraggio di campioni in tempo reale e istantaneo. L?utilizzo combinato di entrambe le tecnologie di monitoraggio consente di ottenere i più alti livelli di controllo, i più bassi limiti di identificazione e i dati più dettagliati in assoluto in termini di speciazione. Tale studio è basato su confronti allineati di due diversi monitor che operano in parallelo in tempo reale sia con gli impinger per liquidi che con i tubi per sorbenti secchi per effettuare una misurazione dei gas sulla base degli standard di rintracciabilità NIST nonché dei campioni in situazioni reali. Download above file for full tables and figures, or for overview, see HTML Version. |
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Ottimizzazione del monitoraggio della contaminazione molecolare per la litografiaRecenti progressi tecnici hanno reso possibile un monitoraggio continuo in tempo reale che ha condotto a sviluppi significativi in termini di sensibilità e stabilità garantendo, allo stesso tempo, una riduzione degli effetti dei tubi di campionamento. Tali progressi vengono realizzati utilizzando... Download above file for full tables and figures, or for overview, see HTML Version. |
Teorie e applicazioni della spettrometria di mobilità dello ione (IMS)La spettrometria di mobilità dello ione (IMS) ha raccolto un ampio consenso in numerose applicazioni per l'individuazione e l'identificazione di molecole inquinanti. Tale documento contiene un'analisi del funzionamento della tecnologia nonché una riflessione sulle varie industrie che utilizzano i monitor IMS e sul monitoraggio di esempi e applicazioni. Download above file for full tables and figures, or for overview, see HTML Version. |
Trasmissione in diretta online: Come usufruire dei vantaggi della litografia ad immersione |
Monitoraggio di ammoniaca e NMP nelle camere bianche per mezzo della spettroscopia di mobilità dello ioneDownload above file for full tables and figures, or for overview, see HTML Version. |
Monitor in tempo reale: Rivista e applicazioni litograficheClick here to signup and download files (Real-time Monitors: Review and Lithography Applications) Pubblicato nella rivista Semiconductor Fabtech (Edizione numero 27) Autore: Robin Danfelt, Nikon Precision. Download above file for full tables and figures, or for overview, see HTML Version. |
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