Monitoraggio delle particelle nei processi chimici

Sommario

Monitoring Particles in Process ChemicalsAlte concentrazioni di particelle nei processi chimici hanno mostrato effetti diretti sulla qualità della produzione. La necessità di ridurre la dimensione e la quantità delle particelle è ben nota. L'International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS), sponsorizzato dalla United States Semiconductor Industry Association (SIA), definisce la necessità di diminuzioni sostanziali nei livelli di particelle nei gas di processo, nell'acqua, nelle sostanze chimiche e nell'aria per soddisfare le tecnologie di prossima generazione. La capacità di valutare con precisione la presenza di contaminazioni è il primo passo nello sviluppo di un piano completo di controllo particellare.

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