Spectromètre à mobilité ionique au point d'utilisation AirSentry® II

La famille AirSentry II des spectromètres à mobilité ionique détectent et alertent les utilisateurs en cas de petites concentrations ou de changements dans les niveaux compteur de particules pour air s de chlorures, d'acides, d'amines et d'espèces contenant de l'ammoniac. Avec une sensibilité en parties par billion, ces détecteurs au point d'utilisation apportent une réponse rapide, une augmentation de la sélectivité de la détection et une performance reproductible. Le fait de combiner les détecteurs AirSentry II à une plateforme logicielle centrale permet de faciliter l'acquisition et l'analyse des données. La famille AirSentry II de détecteurs fournit des données exploitables en continu, afin de permettre une réponse efficace aux sources et événements de contamination.

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Caractéristiques

  • Détection haute sensibilité des acides et bases (amines, ammoniac et chlorures)
  • Configuration de produit polyvalente pour des applications de surveillance au point d'utilisation, multi-points et mobile
  • Sa taille compacte permet de le positionner n'importe où
  • Sorties 4 à 20 mA, RS-232, Ethernet

Avantages

  • Surveillance d'AMC continue des zones critiques
  • Acquisition, contrôle et analyse robustes et fiables des données
  • Stabilité des données à long terme
  • Coût par test le plus bas

Applications

  • Surveillance de la corrosion en temps réel dans les sites de process de gravure
  • Surveillance en temps réel des amines et de l'ammoniac au sein des systèmes de lithographie critiques
  • Quantification de l'efficacité des filtres chimiques
  • Suivi et dépannage des sources de contamination dans les salles blanches et dans les outils de process
  • Analyse de la contamination au sein des modules de stockage (FOUP ou conteneur unifié à ouverture frontale) des wafers

Accessoires disponibles

Pompe à vide pour AMC

Pompe à vide pour AMC

Pompe électrique indépendante qui fournit une source de vide adéquate pour un détecteur AirSentry II au point d'utilisation. Généralement utilisé lorsque le vide interne n'est pas disponible.

Logiciel Facility Net

Logiciel Facility Net

Le logiciel Facility Net fournit une solution pour une surveillance environnementale complète, incluant un affichage des données passées et en temps réel. Compteurs de particules et dispositifs de contrôle de la contamination moléculaire de Particle Measuring Systems compatibles, ainsi que différents produits tiers.

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