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Monitoring particles in your wet bench saves you money. Extend maintenance intervals, improve yield, and lower costs using compression sampling that eliminates erratic data problems due to bubbles and provides real-time information on the condition of your web process.

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Papers

Guide de base pour le comptage de particules

Basic Guide to Particle Counters and Particle Counting

Cette vue d'ensemble sur la contamination de particules débute en discutant des sources de contamination et des technologies de surveillance disponibles et continue en introduisant divers... (mis à jour nov 2007)

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Quel est le meilleur compteur de particules pour vous ? Mesure d'eau et de fluides ultras purs

Which Particle Counter is Best for You? Measurement of DI Water and Fluids (712.5 KB)

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Nouvelles techniques permettant le déplacement de la surveillance de particules in situ plus proche de la tranche

New Techniques Move InSitu Particle Monitoring Closer to the Wafer (1.7 MB)

Surveillance continuelle de particules d'attaque de finition à l'oxyde en utilisant le CLS-700T

Continuous Particle Monitoring Of Buffered Oxide Etch Using the CLS-700T (577.2 KB)

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Products

N
E
W

Compteur de particules liquides : HSLIS M65 UL1604

Mesures de particules pour l'eau déionisée, produits chimiques et solvants

Sensibilité

0.065 µm

Volume d'échantillonnage

0.6 mL/min

Comptage zéro

< 2000 cts/L

Compteur de particules d'échantillonneur liquide : CLS 700 T

Surveille la plupart des produits chimiques liquides jusqu'à 150°C.

Sensibilité

0.2 µm
0.3 µm
0.5 µm

Volume d'échantillonnage

50 mL/min
80 mL/min
80 mL/min

Comptage zéro

<1 cts/L
<1 cts/L
<1 cts/L

Compteur de particules liquides : LiQuilaz

Analyse de précision pour la plupart des produits chimiques jusqu'à 150°C.

Sensibilité

0.2 µm
0.3 µm
0.5 µm

Volume d'échantillonnage

50 ml/min
80 ml/min
80 ml/min

Comptage zéro

<20 cts/L
<15 cts/L
<15 cts/L

Compteur de particules laser : Ultra DI

Gros volume d'échantillonnage, faible comptage zéro, et haute efficacité de comptage

Sensibilité

0.05 µm

Volume d'échantillonnage

3.75 ml/min

Comptage zéro

<50 cts/L

Logiciel de surveillance d'installation : Facilty Net

Offre une vue complète des conditions de surveillance environnementale et de procédé d'une installation. Rassemble, affiche, analyse, mémorise et rapporte les données de l'instrumentation de surveillance.

Logiciel de surveillance de particules SamplerSight

Offre une vue complète des informations sur les systèmes de mesures de particules liquides basés sur lot avec histogramme, tracés par rapport au temps et données sous forme de tableaux.