Nouvelles stratégies de surveillance de particules pour l'eau déionisée dans les fabs 300 mm

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Ce document décrit les opportunités pour améliorer la performance, tracer les tendances de données et réduire les coûts en utilisant une combinaison de compteurs de particules à haute sensibilité et des compteurs de particules à sensibilité plus faibles (0,1 micron), plus économiques avec des volumes importants d'échantillonnage. Nous détaillons l'impact de la sensibilité de la taille, du volume d'échantillonnage et du niveau de comptage zéro sur la performance de compteur de particules. Les considérations sur la surveillance de particules et les différences de distribution de particules entre les systèmes à filtration élevée et à mauvaise filtration sont également traitées.

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