Surveillance de la contamination moléculaire de salle propre

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Dans la surveillance de contamination moléculaire aéroportée (AMC), de simples designs qui vont loin

In AMC Monitoring, Simple Designs Go A Long Way (189.6 KB)

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Surveillance de contamination moléculaire aéroportée optimisée pour la lithographie

Optimized AMC Monitoring for Lithography (1.1 MB)

Publié dans la technologie de semi-conducteurs (Solid State Technology), déc 2007.
Moniteurs spécialisés de contamination moléculaire basés sur la spectroscopie mobile ionique (IMS) pouvant détecter des évènements de contamination NH3 et SO2 en temps réel ainsi que la présentation de tendances de niveaux ppb via des moyennages à long terme...

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Webémission : principaux points de guide internaute ITRS

Webémission

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Surveillance de la contamination moléculaire aéroportée

Monitoring Airborne Molecular Contamination (659.7 KB)

Une variété de technologies a été employée pour la surveillance en temps réel et pour l'échantillonnage instantané. Employer une combinaison des deux techniques de surveillance permet d'obtenir le degré le plus élevé de contrôle, les limites de détection les plus basses et les données les plus détaillées possible en termes de spéciation. Cette étude utilise des comparaisons côte à côte de deux moniteurs différents en temps réel opérant en parallèle avec deux appareils à agitation et des tubes de sorbant sec pour mesurer les gaz traçables selon les normes NIST ainsi que les échantillons réels.

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Document : Spectrométrie à mobilité ionique (IMS) - Théorie et applications

Ion Mobility Spectrometry (IMS) Theory and Applications (866.6 KB)

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Surveillance de contamination moléculaire optimisée pour la lithographie

Optimized Molecular Contamination Monitoring for Lithography (305.2 KB)

De récents développements techniques ont rendu possible l'exécution d'une surveillance continuelle en temps réel avec d'importants progrès dans la sensibilité et la stabilité tout en minimisant les effets de tube d'échantillonnage. Ces améliorations ont été réalisées en utilisant...

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Webémission : tirez tous les avantages de la lithographie à immersion

Webémission

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Présentation : surveillance de partie par billion (ppt) de la contamination moléculaire aéroportée (AMC)

Presentation: Part-Per-Trillion Monitoring of Airborne Molecular Contamination (AMC) (203.2 KB)

Surveillance d'ammoniaque et de NMP (n méthylpyrrolidone) dans les salles propres en utilisant une spectrométrie mobile ionique

Ammonia and NMP Monitoring in Cleanrooms Using Ion Mobility Spectroscopy (220.8 KB)

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Moniteurs en temps réels : Révision et applications de lithographie, 2005

Real-time Monitors: Review and Lithography Applications (3.0 MB)

Publié dans Semiconductor Fabtec, 27e édition. Auteur Robin Danfelt, Nikon Precision.

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Surveillance d'ammoniaque et de NMP (n méthylpyrrolidone) dans les salles propres en utilisant une spectrométrie mobile ionique

Surveillance AMC avec IMS

AMC Monitoring with IMS (1.5 MB)

Pour en savoir plus sur la technologie de surveillance AMC.

Sans mesure, il n'y a pas de contrôle.

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