Monitoreo de la contaminación molecular optimizado para la litografía (305.2 KB)

Ahora está disponible una nueva metodología para monitorear la contaminación molecular en litografía. Recientes avances técnicos han hecho posible realizar un monitoreo continuo en tiempo real con progresos significativos en la sensibilidad y la estabilidad, al mismo tiempo que se reducen al mínimo los efectos del entubado de muestras.

Véase la descarga del archivo arriba para tener cuadros completos e ilustraciones. La versión HTML a continuación proporciona una reseña rápida： Versión HTML .