Sensitivity range: 20 - 100 nm

Chem 20 Chemical Particle Counter

Leading-edge microelectronic processes require very clean process chemicals that are highly filtered and regulated to a particle size of 20 nm or below. With 20 nm particle sensitivity, the new PMS Chem 20 Chemical Particle Counter is the world's most sensitive particle sensor for high purity process chemicals.

Extensive data on chemical distribution and packaging systems proves that the PMS Chem 20 sensor, with 20 nm sensitivity, detects larger concentrations of particles with better statistics than competitive products. The Chem 20 Chemical Particle Counter is a valuable tool that enables facility and process engineers to quickly detect and characterize chemical particle sources before they impact process and device performance.

Leer más

Ocultar

Features

  • Advanced laser optics and detectors enable 20 nm sensitivity in chemicals
  • On-board chemical flow meter to set sample flow
  • First particle counter optimized for low and high refractive index chemicals for improved performance:
    • Chem 20 sensor, for chemicals with lower indices of refraction
    • Chem 20-HI sensor, tailored for sulfuric acid and other higher-index chemicals
  • On-board leak detection to provide alarm upon an internal chemical leak
  • Low-flow detector and alarm to ensure consistent data
  • Bubble detector to optimize data and protect sensor
  • Local data display

Benefits

  • Detect 20 nm PSL & 9 nm Au particles in real time
  • Detect yield-limiting particles (not possible with competitive technologies)
  • React quickly to particle excursions long before surface scan or yield data are available
  • Optimize chemical delivery systems from the loading dock to point-of-process
  • Tighten process control limits through improved sample population statistics
  • Optimize instrument operation for very dirty or very clean applications using two view modes, extending product application space
  • Support legacy data acquisition systems with flexible communications

Applications

  • Real-time particle monitoring within chemical distribution systems
  • Point-of-process monitoring
  • Chemical packaging operations monitoring
  • Chemical filter performance and efficiency characterization
  • Performance testing of chemical handling components

Accesorios disponibles

Software Facility Net

Software Facility Net

El software Facility Net ofrece una solución de seguimiento ambiental total, incluyendo la visualización de los datos en tiempo real y cronológica. Es compatible con los contadores de partículas y los monitores de contaminación molecular de Particle Measuring Systems, así como con otros productos de distintas marcas.

Kit de instalación para líquidos

Kit de instalación para líquidos

Para el uso con aplicaciones en línea, el kit de instalación para líquidos incluye: un mandril Flaretek®, cinco tapas, 7,6 metros (25 pies) de tubo PFA (perfluoro alcoxil alcano) de 1/4 de pulg. y conectores macho.

Related Products

UltraChem® 100 Liquid Particle Counter

The Ultrachem 100 Particle Counter gives you reliable contamination monitoring with the ability to detect the smallest particle...

Contador de partículas en líquidos UltraChem® 40

El contador de partículas Ultrachem 40 permite efectuar un seguimiento fiable de la contaminación, detectando incluso las partículas más...

Sistema de muestreo de líquidos corrosivos CLS-700 T

El sistema de muestro de líquidos corrosivos CLS-700 T consiste en un equipo de muestreo de compresión combinado con un contador de partículas LiQuilaz® para la medición efectiva de...

Contador de partículas en líquidos LiQuilaz® serie S

El contador de partículas LiQuilaz es un contador de partículas volumétrico que mide la corriente entera de líquido para saber con exactitud...

Contador de partículas HSLIS-M65e

El contador de partículas en líquidos in situ de alta sensibilidad (HSLIS-M65E) ofrece un seguimiento continuo en tiempo real de los niveles de contaminación en...

Contador de partículas HSLIS-M100e

El contador de partículas en líquidos in situ de alta sensibilidad (HSLIS-M100E) ofrece un seguimiento continuo en tiempo real de los niveles de contaminación en...

¿Tiene más preguntas?

Nuestro servicio de Atención al cliente está preparado para responder a sus preguntas o prepararle un presupuesto.

Contacte con nuestro servicio de Atención al cliente Solicite un presupuesto