Monitor de procesos en mini-ambientes: MiniNet

La migración de la industria a la pastilla de 300 mm ha convertido al micro-ambiente en una característica clave en las salas blancas de los nuevos semiconductores. Por razones similares, tanto las industrias de almacenamiento de datos como la farmacéutica han optado también por recintos de presión positiva diseñados para ajustarse con firmeza en la herramienta.

A pesar del aumento significativo del nivel de limpieza, el mini-ambiente aún requiere monitoreo de partículas. Sin embargo, este nuevo entorno posee ciertas características distintivas que requieren nuevas técnicas y equipos de monitoreo.

En base a nuestros años de liderazgo industrial en el tratamiento de la microcontaminación, Particle Measuring Systems ha desarrollado y solicitado el patentamiento de MiniNet, un tipo totalmente nuevo de monitor explícitamente diseñado para el monitoreo de mini-ambientes. El MiniNet es un monitor de procesos diseñado para ayudar al dueño de la herramienta a detectar y diagnosticar condiciones en las que la producción se puede ver afectada por los particulados.