Monitor de procesos en mini-ambientes: MiniNet
¿Por qué es importante monitorear partículas en mini-ambientes?
La industria de los semiconductores estimula continuamente la reducción de los costos y el aumenta el rendimiento de los chips de los computadores. Una clave para alcanzar esas metas es reduciendo los tamaños de los chips y reuniendo apretadamente más chips en una pastilla de 300 mm. A medida que la industria se mueve hacia la tecnología de los 300 mm, partículas más y más pequeñas afectarán el rendimiento del chip. La solución es desarrollar procesos de fabricación cada vez más limpios.
El mini-ambiente (o aislador) es un elemento de diseño clave en este proceso, igual para las industrias tanto de almacenamiento de datos como farmacéutica. Al fabricar recintos de protección que se ajusten cómodamente alrededor de cada herramienta, el volumen de aire que debe mantenerse limpio se reduce de modo significativo. Mediante la combinación de esto con otros elementos de diseño, como robótica, filtrado y FOUP, se hace posible contar con mini-ambientes 100 veces más limpios que las salas blancas de generación anteriores.
Mientras que los mini-ambientes son significativamente más limpios, es aún esencial monitorear partículas en ellos de forma continua en tiempo real para eventos con partículas:
- Si bien es posible lograr un mini-ambiente limpio, es imposible mantenerlo limpio. Con el tiempo los selladores se degradan y los brazos robóticos empiezan a mostrar desgaste. Las ranuras de los FOUP se pueden desalinear provocando la rotura de la pastilla. Solamente los monitores de partículas en tiempo real pueden enviar alarmas cuando empiezan a ocurrir eventos por primera vez.
- Mientras que los mini-ambientes en general están limpios, esos eventos con partículas que sí ocurren están mucho más cercanos al producto, incrementando la posibilidad de daños.
- Puede ser más difícil detectar eventos con partículas que en las salas blancas tradicionales. Con frecuencia, los eventos en mini-ambientes se encuentran en el espacio y son de corta duración. Las partículas pueden impactar el producto sin que sean detectadas por las comprobaciones puntuales que se realizan con pastillas de prueba o, inclusive, mediante monitores simples.
- A medida que cada vez mayor cantidad de chips se montan en una única pastilla y al tiempo que múltiples pastillas se instalan en un único FOUP, resulta cada vez más costoso que nunca no detectar algún evento con partículas.
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