Monitor de procesos en mini-ambientes: MiniNet
Las fuentes de partículas emiten un penacho de partículas que se desplazan de acuerdo con las fuerzas de la circulación de aire, la gravedad y la atracción electrostática. En los mini-ambientes, los eventos con partículas se localizan con frecuencia y es posible que no se puedan detectar en el centro del recinto.
Al utilizar de 5 a 7 puntos de muestra en lugar de uno, el muestreo colectivo incrementa la cobertura, aumentando así la probabilidad de detección de partículas del evento. Esto a su vez permite el aumento de la producción.
Campo de estudio: Oblea de 300 mm
Se recolectaron datos de una herramienta de clasificación de pastillas en una oblea de 300 mm. El contador MiniNet extrajo una muestra de un área de 7 posiciones en todo el mini-ambiente, por lo general, 6 pulg. por debajo de la puerta o el brazo/guía robótico de interés. A manera de control, un contador Lasair® 110 (sensibilidad de 0,1 µm en medida de caudal de 1 CFM) extrajo una muestra del centro del recinto, también a 6 pulg. por debajo.
Como se puede apreciar en el gráfico a la derecha, el contador MiniNet (en rojo) detectó numerosos eventos de partículas que un contador de partículas de un punto (en azul) no pudo detectar. Más aún, el contador MiniNet midió un orden de magnitud mayor de partículas, además de continuar detectándolas a lo largo de un período más prolongado.
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