AiM-200: Monitor de contaminación molecular de superficie
El desarrollo más reciente en monitoreo de contaminación molecular, que utiliza la tecnología de Onda acústica de superficie (SAW). Un sensor SAW de alta frecuencia, controlado por temperatura, detecta cambios minúsculos en la masa de superficies críticas, provocado por la acción de contaminantes orgánicos e inorgánicos.
Documento: Evaluación de filtración de contaminación molecular (AMC) utilizando tecnología SAW (290.6 KB)
- Mejora el rendimiento
- Las alarmas avisan a los usuarios sobre cambios sutiles o de mayor importancia en los niveles de contaminación molecular
- Localiza fuentes de contaminación
- Protege las ópticas y reticulados fotolitográficos al monitorear condensados orgánicos o crecimiento cristalino del sulfato de amonio
- Cuantifica la contaminación orgánica en expansión que puede deteriorar con formación de óxido en compuertas
- Evalúa el rendimiento del filtrado químico para maximizar la vida útil de los filtros
- Detecta niveles de contaminación muy bajos
- Fácil de utilizar
- La capacidad de Ethernet facilita la transferencia de datos y las comunicaciones
- Visualización de datos en tiempo real y seguimiento de información a través del poderoso software de Facility Net
- El chip del sensor es fácil de desmontar y enviar para comprobación en laboratorio TOF/SIMS a fin de identificar las especies contaminantes
- Los testigos (LED) y botones del controlador permiten al usuario comprobar el estado de la alimentación y la sonda
- El menú del software permite la fácil instalación y los cambios en la configuración
- De costos acotados
- Baja inversión de capital y costo de propiedad
- Datos sobre masa de sedimentación, velocidad de sedimentación, temperatura del sensor, humedad relativa y promedio estadístico de la velocidad de sedimentación
- Las comunicaciones de Ethernet y RS-232 permiten la integración fácil a Facility Net u otros sistemas de gestión de datos existentes
- La sensibilidad para detección de monocapa permite que los problemas en la contaminación molecular de superficie (SMC) se detecten antes de que se deterioren superficies en los productos o procesos
- Los sensores de alta frecuencia emulan superficies de producto, omitiendo la necesidad de pastillas de alto costo
- Fotolitografía
- Difusión
- Gases de purga
- Almacenamiento de reticulado y pastilla
- Sistema de tratamiento de aire
- Mini-ambientes
- Filtrado químico
- Ópticas aeroespaciales
- Unidad de disco rígido
- Monitorea la contaminación molecular de superficie (SMC) en superficies de dióxido de silicio o cobre
- Detecta la corrosión causada por niveles bajo ppb de SOx
- Detecta sedimentaciones en masa de 0,0032 ng/cm2/Hz en superficies
- Muestras a intervalos con una frecuencia cada cinco segundos
- Sondas controladas por temperatura a +/-0,1ºC
- Almacenamiento interno de 50.000 muestras; almacenamiento de datos en dispositivo USB posible
- Comunicaciones de Ethernet o RS-232
- Algoritmo de compensación de humedad relativa
- Las sondas se pueden instalar a cuatro metros de distancia del controlador
- Recopilación de datos en tiempo real, el monitoreo y alarmas a través de Facility Net
- Hasta dos sondas por controlador aumentan la superficie de monitoreo
- Se dispone de sondas de gases estándar y de flujo transversal (FT)
Hoja de especificaciones de AiM 200 (169.1 KB)
Este instrumento tiene certificación CE.
AiM® es una marca registrada de Particle Measuring Systems.
Corresponden las licencias y aplicaciones de los EE.UU. - EE.UU. 5476002, EE.UU. 5661226, EE.UU. 6945090; Licencias extranjeras y de EE.UU. pendientes.
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