Sistema AirSentry-IMS
El monitoreo en tiempo real de la contaminación molecular del aire es críticamente importante en el procesamiento de semiconductores, unidades de disco rígido y fabricación de TFT-LCD. El sistema AirSentry-IMS cumple con los requerimientos industriales de detección rápida y alarma, monitoreo de sensibilidad de nivel bajo ppb y concentración, muestreo de superficie amplia y especiación de distintos tipos de gases.
BENEFICIOS
- Monitoreo de concentración de nivel ppt (partes por trillón) para compuestos específicos
- Amplia superficie de muestras con sistema de muestreo multipunto
- Larga vida útil que permite el ahorro de costos
- Calibración semiautomática para la facilidad de funcionamiento y mantenimiento
- Registro cronológico de datos y tendencias históricas de los mismos para realizar el máximo análisis de la información
APLICACIONES
- Semiconductores
- Litografía DUV
- Fotomáscara
- Unidad de disco rígido
- Pantalla plana (TFT-LCD)
CARACTERÍSTICAS
- 16, 30, 45 o 60 canales de muestreo
- Rango de concentración estándar de 0,1 a 100 ppb (otros rangos disponibles)
- Contiene hasta 3 analizadores individuales (cualquier combinación de IMS, POC o SO2) para el monitoreo de múltiples contaminantes en un solo sistema
- Una pantalla plana táctil presenta visualizaciones gráficas de compuestos de las concentraciones actuales y los niveles de alarma
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Folleto del sistema AirSentry-IMS (323.7 KB)
Este instrumento tiene certificación CE.
AiSentry-IMS® es una marca registrada de Particle Measuring Systems.
© 2002-2008 Particle Measuring Systems, Inc.
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