Documentos relativos al monitoreo de contaminación molecular de salas blancas

Presentation: Part-Per-Trillion Monitoring of Airborne Molecular Contamination (AMC)

Presentation: Part-Per-Trillion Monitoring of Airborne Molecular Contamination (AMC) (203.2 KB)

Monitoreo de la contaminación molecular optimizado para la litografía (305.2 KB)

Ahora está disponible una nueva metodología para monitorear la contaminación molecular en litografía. Recientes avances técnicos han hecho posible realizar un monitoreo continuo en tiempo real con progresos significativos en la sensibilidad y la estabilidad, al mismo tiempo que se reducen al mínimo los efectos del entubado de muestras.

Véase la descarga del archivo arriba para tener cuadros completos e ilustraciones. La versión HTML a continuación proporciona una reseña rápida： Versión HTML.

Documento: Teoría de movilidad iónica y aplicaciones (866.6 KB)

La Espectrometría de movilidad iónica (IMS) ha ganado una amplísima aceptación en muchas aplicaciones para detectar e identificar las moléculas contaminantes. Este artículo investiga cómo funciona la tecnología IMS, analiza las distintas industrias que emplean monitores IMS y revisa las aplicaciones y ejemplos de monitoreo.

In AMC Monitoring, Simple Designs Go A Long Way (189.6 KB)

Over the past several years, different sensor and detection technologies have been adapting themselves by increasing their complexity in order to meet the requirements needed for effective (Airborne Molecular Contamination) AMC monitoring. Complex designs only add to the uncertainty in the measurement by introducing opportunity for the sample to be altered prior to detection, or by creating potential hardware failure points which require regular preventative maintenance. For AMC monitoring equipment, the principle of Occam's razor appears to ring true - "All other things being equal, the simplest solution is best."

Monitores de tiempo real: Revisión y aplicaciones litográficas, 2005 (3.0 MB)

Publicado en Semiconductor Fabtech, edición 27. Autor Robin Danfelt, Nikon Precision.

Monitoreo de amoníaco y NMP en salas blancas utilizando la espectrometría de movilidad iónica (220.8 KB)

Monitoreo de la contaminación molecular del aire: (659.7 KB)

Se ha empleado una variedad de tecnologías tanto en monitoreo en tiempo real como por toma de muestras. Al emplear una combinación de ambas técnicas de monitoreo se logra el grado de control más elevado, los límites de detección más bajos y los datos más detallados posibles en términos de especiación. Este estudio utiliza comparaciones paralelas de dos distintos monitores en tiempo real que funcionan uno al lado del otro, tanto con aparatos de incidencia de líquidos como con tubos absorbentes secos para medir niveles de gases identificables con calibración NIST, así como también muestras del mundo real.