Molekulare Kontamination

Die Molecular Division von Particle Measuring Systems konzentriert sich auf das Monitoring luftgebundener (airborne) und oberflächenbezogener (surface) molekularer Kontamination (AMC und SMC). Als Pioniere des Echtzeit-Monitorings in der Halbleiterbranche verfügen wir über die Ressourcen und die Expertise, um Verunreinigungen erfolgreich zu quantifizieren, Quellen und Trends zu identifizieren und Fehlerbehebung durchzuführen. Wir haben ein umfassendes Angebot von molekularen Services, das für Ihre Bedürfnisse geschaffen ist.

Standortprüfung

• Analyse von Säuren in Luft
• Analyse von Ammoniak und Aminen in Luft
• Analyse von organischen Verbindungen in Luft (Kohlenwasserstoffen, Siloxanen, NMP usw.)
• Analyse von kondensierbaren Oberflächenstoffen und Spurenmetallen

Partikelcharakterisierung

• Echtzeit-AMC-Monitoring
• Echtzeit-SMC-Monitoring
• Prozessgas-, CDA- oder Filtereffizienz-Monitoring
• Ausgasungsprüfung von FOUPs, Reticle Pods usw.

Fehlerbehebung

• Experten identifizieren Probleme schnell und gründlich
• Identifizierung kontaminierender Spezies und Ereignisse (Quellen)
• Quantifizieren von AMC- und SMC-Stufen nach Standort und Zeit
• Chemische Filter-Post-mortem-Analyse

Produktvalidierung

• Validierung und Schaffung von Vertrauen in Genauigkeit und Funktionalität von Analysatoren
• Prüfmethoden und Verfahren werden vor dem Service mit Kunden ausgetauscht und vereinbart

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services@pmeasuring.com
Gebührenfrei: (800) 238-1801