AirSentry® II Point-of-Use Ionen-Mobilitäts-Spektrometer

Die Familie der AirSentry II Ionen-Mobilitäts-Spektrometer weist bereits geringe Konzentrationen oder Änderungen bei den Werten von Chloriden, Säuren, Aminen und ammoniakhaltigen Spezies in Luft nach und gibt entsprechende Warnungen an die Anwender aus. Mit einer Empfindlichkeit im ppt-Bereich (parts-per-trillion) zeichnen sich diese am Einsatzort (Point-of-Use) aufgestellten Sensoren durch Reaktionsschnelligkeit, eine höhere Selektivität des Nachweises und eine reproduzierbare Leistung aus. Die Kombination von AirSentry II Sensoren mit einer zentralen Softwareplattform ermöglicht eine problemlose Datenerfassung und -analyse. Die Familie der AirSentry II Sensoren liefert kontinuierlich belastbare Daten, die eine effiziente Reaktion auf Kontaminationsquellen und -ereignisse ermöglichen.

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Merkmale

  • Hochempfindlicher Nachweis von Säuren und Basen (Amine, Ammoniak und Chloride)
  • Vielseitige Produktkonfiguration für Monitoring in Point-of-Use-, Mehrpunkt- und mobilen Anwendungen
  • Kompakte Größe ermöglicht Aufstellung an jedem Ort
  • Ausgänge für Ethernet, RS-232 und 4-20 mA

Vorteile

  • Kontinuierliches AMC-Monitoring kritischer Standorte
  • Robuste und zuverlässige Erfassung, Steuerung und Analyse der Daten
  • Langzeit-Datenstabilität
  • Niedrigere Kosten pro Test

Anwendungen

  • Echtzeit-Korrosionsüberwachung an Ätzprozess-Standorten
  • Echtzeit-Monitoring von Aminen und Ammoniak in kritischen Lithographiesystemen
  • Quantifizierung der Effizienz chemischer Filter
  • Verfolgung sowie Fehlersuche und -behebung bei Kontaminationsquellen im gesamten Reinraum und in Prozesswerkzeugen
  • Kontaminationsanalyse in FOUP (Front Opening Unified Pod)-Waferaufbewahrungsmodulen

Lieferbares Zubehör

AMC-Vakuumpupe

AMC-Vakuumpupe

Standalone-Elektropumpe, die eine geeignete Vakuumquelle für einen AirSentry II POU-Sensor bereitstellt. Sie kommt üblicherweise zum Einsatz, wenn keine Hausvakuumanlage verfügbar ist.

Software Facility Net

Software Facility Net

Die Software Facility Net bietet eine Lösung für ein umfassendes Umgebungsmonitoring mit Anzeige von Echtzeit- und historischen Daten. Geeignet für kompatible Partikelzähler und Monitore für molekulare Verunreinigungen von Particle Measuring Systems sowie für verschiedene Produkte von Drittanbietern.

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