AirSentry® II Mobiles AMC-Nachweissystem

Das mobile AirSentry II AMC-Nachweissystem als Erweiterung für ortsfeste AMC-Monitoring-Programme ist das erste wirklich mobil einsetzbare System für die Überwachung luftgetragener molekularer Verunreinigungen („airborne molecular contamination“, AMC) in Reinräumen. Im Rahmen eines strategischen AMC-Monitoring-Programms spielt Mobilität eine wichtige Rolle, denn sie ermöglicht ein schnelles und genaues Auffinden, Quantifizieren und Beseitigen von Kontaminationsquellen. Ein lokaler Touchscreen-PC auf dem Systemwagen liefert eine sofortige Rückmeldung der AMC-Werte an jedem Monitoring-Standort. Die Software Facility Net stellt die Funktionen für Datenspeicherung und Echtzeit-Grafikanzeige während der Überwachung der jeweiligen Umgebung bereit. Chemisch gefilterte Trockenluft (CDA) und eine Vakuumversorgung befinden sich im Gehäuse des Systemwagens, sodass die Analysatoren sofort nach dem Transport an einen neuen Standort mit der Probenahme beginnen können, ohne die bei Systemen von Wettbewerbern üblichen längeren Aufwärmzeiten abwarten zu müssen.

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Merkmale

  • Hochempfindliche, mit Ionen-Mobilitäts-Spektrometrie (IMS) arbeitende AirSentry II Analysatoren zum Nachweis von Säuren, Aminen, Ammoniak und Chloriden
  • Systemwagen – zum schnellen Transportieren des Systems an Probenahmestandorte mit hoher Priorität
  • Kompressor, Lufttrockner, chemischer Filter und Vakuumpumpe im System integriert
  • Batteriereserve ermöglicht mehr als 30 Minuten unterbrechungsfreie Probenahme, sogar während des Transports.
  • Touchscreen-PC und Software zeigen Konzentrationsdaten in Echtzeit oder als historische Daten an.
  • Optional mit drahtloser Datenübertragung

Vorteile

  • Exakte Lokalisierung von AMC-Problemen in Echtzeit durch Identifizieren von Kontaminationsquellen
  • Charakterisieren von AMC-Werten in mehreren Bereichen von großen Reinräumen
  • AMC-Analysatoren sind stets am richtigen Ort und zur richtigen Zeit einsatzbereit.
  • Kontinuierlich verfügbare, belastbare Daten im Prozesswerkzeug und in der Anlage

Anwendungen

  • Fehlersuche und räumliche Identifizierung von Kontaminationsquellen
  • Isolierung und Verifizierung von AMC-Ereignissen, die von Mehrpunkt-Monitoringsystemen nachgewiesen werden
  • Prüfung von AMC-Werten innerhalb von Prozesskammern und Prozesswerkzeugen
  • Prüfung und Validierung der Filtrationsleistung in chemischen Prozessen

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