Meßbereich: 20 - 100 nm

Chem 20 Partikelzähler

Führende Mikroelektronikprozesse erfordern hochreine Prozeßchemikalien welche auf eine Partikelgröße von 20 nm und darunter gefiltert und geregelt werden.

Mit einem Meßempfindlichkeit von 20 nm ist der neue Chem 20™ Partikelzähler von PMS der empfindlichste Partikelsensor für hochreine Prozeßchemikalien der Welt.

Umfangreiche Daten aus der Chemikalienversorgung und Verpackungssysteme zeigen, dass der PMS Chem 20 Sensor mit 20 nm Empfindlichkeit eine höhere Anzahl und Statistik von Partikel als vergleichbare Produkte erkennen.

Der Chem 20 Partikelzähler ist ein wertvolles Equipment welches Ingenieuren aus der Verfahrenstechnik und Chemikalienversorgung einen schnellen Nachweis von Partikelquellen liefern noch bevor diese Partikel Auswirkungen auf den Prozeß und eine negative Leistung der Kundenprodukte ermöglichen.

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Kenndaten

  • Erweiterte Laseroptiken und Detektoren ermöglichen 20 nm Empfindlichkeit in Chemikalien
  • Integrierter regulierbarer chemischer Durchflußmesser
  • Erster optimierter Partikelzähler für Chemikalien mit niedrigem und hohem Brechungsindex für eine verbesserte Leistung von:
    • Chem 20 Sensor für Chemikalien mit niedrigem Brechungsindex
    • Chem 20-HI Sensor für Schwefelsäure und andere Chemikalien mit hohem Brechungsindex
  • Integrierte Bordlecksuche um Alarm bei einem internen chemischen Leck zu detektieren
  • Integrierter Detektor als Alarmsignal bei geringen Durchfluß um konsistente Daten sicherzustellen
  • Makro-Blasendetektor um die Sensorleistung zu schützen
  • Lokales Datendisplay

Leistungsdaten

  • Detektion von 20 nm PSL bzw. 9 nm Gold Partikeln in Echtzeit
  • Erkennen von Ausbeute-limitierenden  Partikeln (nicht mit Marktbegleiter-Technologie möglich)
  • Erkennen und Vermeiden von Partikeln bevor Daten aus Partikel-Oberflächen-Scans und Yield verfügbar sind
  • Optimierung von Chemieversorgungs-systemen von Wareneingang bis zum Chemikalienverbraucher
  • Engere Prozess-Spezifikationen möglich durch verbesserte Partikelverteilungs-Statistiken
  • Einstellung/Optimierung des Gerätes auf stark verschmutzte und sehr reine Applikationen durch 2 verschiedene Modi, damit Erweiterung des Anwendungs-bereichs
  • Support von aktuellen und Vorgänger Datenerfassungs-Systemen durch flexible Schnittstellen

Anwendungen

  • Echtzeit Partikel-Überwachung in Chemieversorgungssystemen
  • Point-of-Process Überwachung
  • Überwachung bei Abfüllungsprozessen für Chemikalien
  • Effizienz- und Performance Bestimmung von Chemiefiltern
  • Test der Performance von Komponenten zur Chemikalienbeförderung

Weitergehnde Informationen

Häufig gestellte Fragen (FAQs)

Lieferbares Zubehör

Software Facility Net

Software Facility Net

Die Software Facility Net bietet eine Lösung für ein umfassendes Umgebungsmonitoring mit Anzeige von Echtzeit- und historischen Daten. Geeignet für kompatible Partikelzähler und Monitore für molekulare Verunreinigungen von Particle Measuring Systems sowie für verschiedene Produkte von Drittanbietern.

Installationsset für Flüssigkeiten

Installationsset für Flüssigkeiten

Zum Lieferumfang des Installationssets für den Einsatz in Inline-Anwendungen gehören: ein Flaretek® Aufweitungswerkzeug, drei Verschlusskappen, ein PFA (Perfluoralkoxyalkan)-Schlauch, 1/4", Länge 25 Fuß und Steckanschlüsse.

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