HPGP-101-C Hochdruckgas-Sensorsystem

In Hightech-Fertigungsprozessen werden oft hochreine Gase benötigt. Das HPGP-101-C Hochdruckgas-Sensorsystem bietet ein zuverlässiges Inline-Monitoring von Prozessgasen auf Verunreinigungen bei Leitungsdruck. Das Hochdruckgas-Sensorsystem ist geeignet für Sauerstoff, Wasserstoff und die meisten ungiftigen Gase und kann in vielen Monitoring-Anwendungen für Reaktionsgase eingesetzt werden. Das Hochdruckgas-Sensorsystem beschleunigt die Qualifizierung von Prozessgas-Verteilungssystemen und weist Partikel in Gasen nach, bevor sie sich negativ auf die Produktivität auswirken können. Das HPGP ist für den Einsatz in Kombination mit dem Partikeldatensystem – Ethernet (PDS-E) zum Sammeln der vom Sensor erfassten Daten und zum Erstellen der zugehörigen Berichte konzipiert.

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Merkmale

  • Kapselung in Sicherheitsbehälter
  • Geeignet für Sauerstoff und Wasserstoff
  • Empfindlichkeit von 0,1 μm bei 0,1 SCFM
  • Acht Partikelkanäle
  • Leitungsdrücke von 40 bis 150 psig
  • Passive Laserkavität
  • Array-Detektorsystem mit Parallelverarbeitung

Vorteile

  • Überprüfung der Gasqualität
  • Erkennung von Störungen im Prozess
  • Quantifizierung der Auswirkungen von Änderungen im System
  • Genaue Größenbestimmung der Partikel
  • Nutzung der Software FacilityNet für umfassende Datenspeicherung und -verwaltung, Berichte und Alarme
  • Ausführung mit passiver Kavität erfordert keine häufige Wartung
  • Inertgasspülung für hohe Sicherheit
  • Unterbrechung der Stromversorgung zur Elektronik bei Entweichen des Probengases in den Behälter

Anwendungen

  • Qualifizierung von Gasverteilungssystemen
  • Prozessgas-Monitoring
  • Reaktionsgas-Monitoring

Weitergehnde Informationen

Lieferbares Zubehör

Halterung für Rackmontage (PDS-E)

Halterung für Rackmontage (PDS-E)

Halterung für die Rackmontage von PDS-E zum Einbau in ein 19"-Standardrack. Hierbei ist zu beachten, dass bei jeder Rackmontage ein ungehinderter Luftstrom vom Lüfter an der Rückseite des Messgeräts gewährleistet sein muss.

Software Facility Net

Software Facility Net

Die Software Facility Net bietet eine Lösung für ein umfassendes Umgebungsmonitoring mit Anzeige von Echtzeit- und historischen Daten. Geeignet für kompatible Partikelzähler und Monitore für molekulare Verunreinigungen von Particle Measuring Systems sowie für verschiedene Produkte von Drittanbietern.

Partikeldatensystem (PDS-E)

Partikeldatensystem (PDS-E)

Datensystem auf Basis eines Mikroprozessors. Das PDS-E kann einen Sensor aufnehmen und ist mit einem Gehäuse zur Wandmontage, RS-232-Kabel für die Einrichtung und der Software FacilityNet ausgestattet. Der Sensor ist nicht im Lieferumfang enthalten.

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