CLS-700 T Chemikalienpartikelzähler

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BENEFITS

• Kostenreduktion
• Durchflussrate von 50 oder 80 ml/min und Untersuchung von 100 % des Probenvolumens bedeuten schnellere Prozessqualifizierung
• Echtzeit-Charakterisierung und Analyse für unverzügliche Reaktion auf Anomalien bedeuten weniger Abfall
• Vielseitigkeit
• Unterstützt eine breite Palette von Anwendungen und Flüssigkeiten
• Programmierbare Partikelgrößen-Schwellenwerte
• Konzipiert für mühelose Mobilität
• Dank Kompressionsprobenahme kann das Messgerät die meisten Chemikalien messen, einschließlich schäumender Chemikalien
• Externer Auslöser koordiniert Probenahme mit Prozessereignissen
• Messungen können direkt vom Bad erfolgen
• Benutzerfreundlich
• Die Facility Net Fertigungskontrollsoftware vereinfacht Online-Probenahme durch alphanumerisches Paging, Sensorstatus, Tabellen und SPC-Diagramme sowie Zeitdiagramme
• Die SamplerSight Batch-Probenahme-Software erleichtert alle Aspekte von Datenmanagement, darunter hoch entwickelte Datenspeicherung, Abfrage und Berichtserzeugung
• Konzipiert für schnelle Reinigung beim Wechsel von einer Chemikalie zu einer anderen

APPLICATIONS

• Partikelstufenmessung in schäumenden Flüssigkeiten
• Nassprozess-Monitoring
• Chemische Fertigungskontrolle
• Badmonitoring

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Der CLS-700T Partikelzähler ist ein Batch-System zur Probenahme von Chemikalien bei Temperaturen bis 150 °C. Das System wurde im Hinblick auf Vielseitigkeit konzipiert und passt auf einen Laborwagen zur Probenahme von Chemikalien verschiedener Bäder innerhalb einer Fertigungsanlage. Der CLS-700T Partikel-Sampler für Chemikalien extrahiert die Flüssigkeit von einem Bad, einem Zylinder oder einer Flasche, führt sie durch einen Sensor und erfasst die Partikelinformationen. Die Chemikalie wird bei der Probenahme in die Bürette gezogen und dann wird die Flüssigkeit verdichtet, um jegliche Blasen zu entfernen. Die benetzten Flächen des CLS-700T Partikelzählers sind mit den meisten Prozesschemikalien, einschließlich Fluorwasserstoffsäure, chemisch kompatibel. Alle Elektronikkomponenten sind physikalisch vom Installationsbereich getrennt und werden zur Vermeidung von Korrosion mit einem Inertgas geklärt. Klärgas kann durch eine Gebäudeversorgung, eine Flasche oder eine Pumpe bereitgestellt werden.

Der CLS 700 T Chemikalienpartikelzähler umfasst eine Auslösungsfunktion, wodurch der Sampler durch ein Prozesstool gestartet bzw. gestoppt werden kann. Der Sampler kann während eines Badwechsels automatisch abgeschaltet werden, um Einspritzung von schädlichem chemischem Schaum oder Luft in den Partikelzähler zu vermeiden.

Partikelmessungen werden unter Verwendung des LiQuilaz Chemikalienpartikelsensor durchgeführt. Bis zu 15 Größen-Schwellenwerte beginnend bei 0,2 Mikron sind verfügbar. Die Größenempfindlichkeit kann bedienerseitig angepasst und über die Software kontrolliert werden. Auf einem PC können die Partikeldaten in Echtzeit angezeigt werden: Konzentrationen pro Volumeneinheit als Zeitdiagramm, rohe oder normalisierte Konzentrationen in einem Tabellenformat und Prozentwerte in einem Histogramm.

Die Außenflächen des CLS-700T Chemikalien-Partikel-Sampler sind aus Polypropylen gefertigt; alle Verweis- und Statusbeschriftungen sind lasergeätzt. Dies ermöglicht einfache Instandhaltung und leichtes Abwischen zwischen den Probenahmen verschiedener Chemikalien ohne Beschädigung der Oberflächen mit scharfen Lösungsmitteln.

Dieser Partikelzähler ist CE-zertifiziert.