制程表征
我们提供全方位的现场测试服务，我们的技术专家能够到您的现场，进行各种制程和清洁区域的粒子和分子水平表征。为了尽快解决具体的污染问题，请立即和我们联系，以便制定出发现和解决问题的快速反应计划。
现场测试内容
- 净室气体
- 超纯水（UPW）系统
- 化学传递系统
- 腐蚀工作台
- 气体或液体悬浮粒子，化学过滤器
- 制程气体和CDA线
- 化学机械研磨液CMP传递系统
- 微环境和制程工具
故障诊断
当发生污染事件时，我们的专家能够迅速提供诊断故障的信息。
- 确定污染源
- 测量地点或制程的污染水平
- 快速彻底的报告和分析
下载服务手册 (148.2 KB)
欲索取有关制程表征服务的其它信息，请联系：
Aaron Shupp
ashupp@pmeasuring.com
电话：(303) 443-7100 ext. 454
1-800免费电话：(800) 238-1801
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