分子沾染
粒子监测系统有限公司的分子业务部门的工作重点在于监测气体悬浮和表面分子沾染（AMC和SMC）。作为半导体行业实时监测领域中的先行者，我们有能力对沾染物进行有效的监测，确定它们的来源和趋势，并诊断故障。我们能够根据您的具体要求，提供全方位的分子业务服务。
现场测定
- 空气中酸的分析
- 空气中氨水和胺的分析
- 空气中有机化合物的分析（碳氢化合物、硅氧烷、NMP等）
- 表面凝结物分析，追踪金属物质
制程表征
- 实时AMC监测
- 实时SMC监测
- 制程气体、CDA或过滤器效率监测
- FOUP、标线夹中外泄气体测试
故障诊断
- 专家诊断故障，快速彻底地发现问题
- 确定污染物种类和事件（污染源）
- 按地点和时间测量AMC和SMC水平
- 化学过滤器的事后分析
产品设定
- 设定分析仪的精确度和功能
- 在服务之前同用户确定拟使用的测试方法和技术
下载分子沾染物监测服务手册 (128.6 KB)
欲索取有关分子沾染监测服务的其它信息，请联系：
Aaron Shupp
ashupp@pmeasuring.com
电话：(303) 443-7100 ext. 454
1-800免费电话：(800) 238-1801
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