灵敏度: 0 - 50 ppbv

AirSentry® II 使用点离子迁移光谱仪

离子迁移光谱仪的AirSentry® II家族检测并且使用户警觉在酸类、胺类、氨以及氯化物-包含的种类的气悬浮水平中小的关注点改变。具有ppt级的灵敏度,这些使用点传感器提供了反应迅速、监测选择性广以及可重复性性能。配有主要软件平台的Air Sentry II传感器可以进行简易的数据采集和分析。Air Sentry II传感器家族提供连续可追溯的数据,来对污染源和事件进行有效的回应。

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特点

  • 酸类和基底(胺类、氨以及氯化物)的高灵敏度检测
  • 使用点、多点式、移动式监测应用的通用产品配置
  • 体积小,可放在任何位置
  • 以太网,RS-232, 4-20毫安输出

优点

  • 连续监测关键点
  • 耐久可靠的数据收集、控制、分析
  • 长期数据稳定性
  • 最低的每份测试成本

应用

  • 在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测
  • 在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测
  • 化学过滤器有效率的资格确认
  • 遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除
  • 前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析

可用的配件

气悬浮分子沾污真空泵

气悬浮分子沾污真空泵

为一个AirSentry II使用点传感器提供一个适当的真空源的独立电动泵。典型使用在主泵不可用的时候。

Facility Net软件

Facility Net软件

Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案,包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器,以及各种第三方产品。

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