灵敏度: 20 - 100 nm

Chem 20 化学式粒子计数器

领先的微电子工艺需要非常干净的工艺化学品,其被高度过滤并调节至20nm或更低的粒度。 具有20 nm的粒子灵敏度,新的PMS Chem 20化学式粒子计数器是世界上灵敏度最高的高纯度过程化学品粒子传感器。

关于化学分布和包装系统的广泛的数据证明,与其竞争产品相比,具有20纳米灵敏度的PMS Chem 20传感器可以检测到较大的颗粒浓度并且具有更好的统计数据。 Chem 20化学颗粒计数器是一种有价值的工具,它使设备和工艺工程师能够在化学颗粒影响过程和设备性能之前快速检测和描述化学颗粒源。

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性质

  • 先进的激光光学和检测器使检测化学物质的灵敏度达到20 nm
  • 车载化学流量计用于设定样品流量
  • 第一个能针对低和高折射率化学品进行优化的颗粒计数器,以提高产品性能:
    Chem 20传感器,用于具有较低折射率的化学品
    Chem 20-HI传感器,适用于硫酸和其他高指数化学品
  • 内部泄漏检测可以在内部化学品泄漏时提供报警
  • 低流量检测器和报警器,以确保数据一致
  • 宏观气泡探测器用于保护传感器性能
  • 本地数据显示

优点

  • 实时检测20 nm PSL和9 nm Au微粒
  • 检测产量限制粒子(竞争技术无法达到)
  • 在表面扫描或产量数据可用之前对粒子偏移作快速出反应
  • 优化从装卸码头到加工点的化学品输送系统
  • 通过改进的样本人口统计数据来加强过程控制限制
  • 使用两种视图模式优化非常脏或非常干净应用的仪器操作,从而延长产品应用空间
  • 支持具有灵活通信的传统数据采集系统

应用

  • 化学分配系统内的实时粒子监测
  • 流程监控点
  • 化学包装操作监控
  • 化学过滤器性能和效率表征
  • 化学处理组分的性能测试

可用的配件

Facility Net软件

Facility Net软件

Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案,包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器,以及各种第三方产品。

液体安装套件

液体安装套件

与在线应用一起使用,液体安装套件包括一个 Flaretek®扩口工具,25英尺又1/4英寸氟烷氧基烷烃管子和阳螺纹接头

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