灵敏度: 0.1 - 5.0 µm

HPGP-101-C高压气体探头系统

高技术生产工艺通常要求高纯度气体。HPGP-101-C高压气体探头系统提供适用于管路压力的工艺气体的可靠的内嵌式污染监测。HPGP-101-C高压气体探头系统和氧气、氢气以及大多数无害气体相匹配,它可以被用于许多活性气体监测应用。HPGP-101-C高压气体探头系统会在影响产量之前,加快工艺气体分配系统的资格确认,监测气体中的粒子。HPGP可与粒子数据系统、可以收集和报告通过探头获取到数据的以太网互相配对

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特点

  • 安全保护壳
  • 氧气与氢气兼容性
  •  0.1SCFM下,灵敏度为0.1μm
  • 8个粒子通道
  • 管道压力从40到150psig
  • 被动式激光源
  • 并行处理阵列检测器系统

优点

  • 核实粒子质量
  • 检测工艺异常
  • 量化系统更改的影响
  • 提供精确粒径
  • 使用 Facility Net软件来进行全面的数据存储、管理、报告和警报
  • 被动式激光源设计只需极少的维护
  • 净化的惰性气体确保安全
  • 样本气体一旦泄漏,容器立刻终止电源

应用

  • 气体分布系统的资格确认
  • 工艺气体监测
  • 活性气体监测

可用的配件

框架安装(PDS-E)

框架安装(PDS-E)

PDS-E的框架安装符合一个标准的19英寸的架子。注意任何安装架必须考虑到设备后方的风扇的气流

Facility Net软件

Facility Net软件

Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案,包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器,以及各种第三方产品。

粒子数据系统(PDS-E)

粒子数据系统(PDS-E)

微处理器基本数据系统。PDS-E可以安装一个探头,包含一个壁装盒、 RS-232设置电缆以及 FacilityNet软件。传感器不包括在内。

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