HSLIS e系列液体光学粒子计数器用于连续 实时监测去离子水和制程化学品中的粒子 污染水平。本系列产品具有监测灵敏度高、 价格低的优势,当需要同时使用多台传感器 监测粒子长期趋势时,本系列产品的优势就 更加明显。HSLIS e系列产品的去离子水监测 灵敏度可达 0.05μm,制程化学品的监测 灵敏度可达 0.065μm。HSLIS e系列产品同 粒子监测系统有限公司开发的Facility Net
软件相整合,为监测多流体系统和固定局部 区域提供了低成本解决方案。
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本款粒子监测仪经CE认证。
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