高压气体颗粒检测仪（HPGP-101-C）

下载 Click here to signup and download files (HPGP 101 C 规格说明) 样本

好处

• 降低成本
• 制程气体分配系统快速达标验证
• 监测气体中的粒子变化，防止它们影响产量
• 适用于氧气、氢气和大多数无毒气体
• 改善制程控制
• 验证规格
• 监测制程干扰
• 量化系统变化造成的影响
• 精确测量粒子
• Facility Net软件的数据管理系统具有全面的数据储存、管理、报告、报警等功能
• 可靠性高
• 被动式激光源，无需频繁的维修保养
• HPGP无需流体即可完成监测，这一优点是其它同类设备所不具备的
• 惰性气体吹扫，保证安全
• 样本气体泄露到仪器壳内时切断电源